来源：新浪VR
随着中芯国际在美国百般阻挠的情况下成功购买光刻机，荷兰ASML公司的大名也逐渐被网友所熟知。最近，这家光刻机界的唯一巨头又发布了一款新产品：第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000，它适用于2020年即将量产的5nm和更先进工艺，能让厂商的产能暴涨600%左右。
在业界，ASML垄断了7nm及以下芯片制造的设备供应，全世界的芯片业巨头、代工厂商都只能购买这家公司的设备，才能给全世界带来最顶级的芯片产品。而伴随着制程工艺的持续提升，晶圆制造的过程也愈发复杂，生产过程中的错误也变得越来也多，而ASML刚刚发布的HMI eScan1000就是一套基于HMI多光束技术的高科技监测系统。
据了解，这套设备的内部拥有极其复杂的光电子系统，自身就能批量产生和控制电子束，然后根据反射回来得电子束成像来分析生产中得景园质量。另外，它还高速运行的平台和计算系统，可以精确地控制与处理测试晶圆的数量、电子束的数据。
总得来说，ASML刚刚发布的这台HMI eScan1000就是一台顶级晶圆质量检测系统。在芯片领域中，制造工艺越先进，对检测系统的需求就越高，它的精度和吞吐量都会直接影响最终的生产效率。
值得一提的是，HMI eScan1000较以往取得了明显的突破：它能同时产生和控制九道电子光束，可以直接提升产能达600%，大大减少了晶圆质量分析所耗费的时间成本。
